U53SL 系列超高纯减压器
U53SL 系列减压器适用于超高纯净气体应用，采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封产用了硬密
封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命
》U53SLGK-GLP-91-91
结构特点 Features
*膜片式硬密封，泄漏率低
* 可采用面板安装和后座安装
* 压力表标准连接： 1/4” FSR(M)
可选： 1/4” FSR (F)
* 内部电解抛光
* 高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业
* 使用寿命长
* 通过氦气测试
材质 Materials
* 母体： 316L， Hastelloy®
* 阀座： PCTFE
* 膜片： Elgiloy®， Hastelloy®
* 上盖： 316， Hastelloy®
功能特性 Functional Performance
* 流量： Cv=0.054
* 母体泄漏率： 2x10-8 atm cc/sec He
* 阀座泄漏率： 4x10-8 atm cc/sec He
* 设计验证压力：最大额定压力的 150%
*设计爆破压力：最大额定压力的 400%
工作条件 Operating Conditions
*最大的入口压力： 300 psi (20 bar)
* 出口压力： 0- 30 psi (2 bar)
* 温度： -18℃~60℃(0℉~140℉)
流道表面 Surface Finish
* 标准： Ra 20μin
* 可选： Ra 10μin
内部容积 Internal Volume
* 9.3 cc
| 131121003 | U53SLBK-GLW-91-91-P | 不锈钢 316L, 0.1 Cv, 3孔, 250psi/25psi, 无表, 1/4" FSR( F ), EP级, 面板安装 | | 1C | 8 | | 131101501 | U53SLBK-GLP-91-91 | 不锈钢 316L, 0.1 Cv, 3孔, 250psi/25psi, 带表, 1/4" FSR( F ), EP级 | | 1C | 8 | | 131121005 | U53SLGK-GLW-91-91 | 不锈钢 316L, 0.1 Cv, 4孔, 250psi/25psi, 无表, 1/4" FSR( F ), EP级 | | 1C | 8 | | 131121500 | U53SLGK-GLP-91-91 | 不锈钢 316L, 0.1 Cv, 4孔, 250psi/25psi, 带表, 1/4" FSR( F ), EP级 | | 1C | 8 |
联系人：张寒春 联系电话：13771890961 |
