制氧系统主要由原料空气及处理系统（一般配置：空气压缩机、活性炭过滤器、一级过滤器、空气冷干机、二三级精密过滤器、空气缓冲罐及自动排水装置、管道等）、制氧主机、氧气增压机等部分组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后，被空气压缩机增压至0.5MPa，首先由活性炭过滤器除空气机刚开始时压缩空气夹带的少量油份，经活性炭过滤器初步除油，再经一二三级精密过滤器除油，空气冷干机冷凝除水，而进入制氧主机的一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂，其中水分、二氧化碳及少量其它气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附，随后氮气被装填于活性氧化铝上部的沸石分子筛所吸附。而氧气（包括氩气）为非吸附组分从吸附器顶部出口处作为产品气排至氧气平衡罐，经氧气压缩机增至所需的用氧压力，送入氧气储罐至后续用氧工段使用。